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Communication Dans Un Congrès Année : 2020

Proximity effect in parallelized microfabrication using two-photon polymerization

Luis Adrian Pérez Covarrubias
  • Fonction : Auteur
Département Optique
Caroline Arnoux
  • Fonction : Auteur
Université Claude Bernard Lyon 1
Quentin Carlier
  • Fonction : Auteur
Département Optique
Alexandre Khaldi
Département Optique
CV
Patrice Baldeck
Université Claude Bernard Lyon 1
Kevin Heggarty
Département Optique

Domaines

Optique / photonique Micro et nanotechnologies/Microélectronique Electromagnétisme Traitement du signal et de l'image [eess.SP]
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Dates et versions

hal-03104071 , version 1 (26-05-2021)

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Citer

Luis Adrian Pérez Covarrubias, Caroline Arnoux, Quentin Carlier, Alexandre Khaldi, Patrice Baldeck, et al.. Proximity effect in parallelized microfabrication using two-photon polymerization. SPIE Photonics Europe 2020, Apr 2020, Online Only, France. pp.26, ⟨10.1117/12.2555377⟩. ⟨hal-03104071⟩

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